최근 한국기계연구원(기계연) 로봇메카트로닉스연구실 손영수 박사팀이 반도체 공정에서 배출되는 유해물질을 줄이는 기술을 개발했다. 이 기술은 고농도, 고순도 오존생성장치로 기존 반도체와 평판디스플레이 공정 등을 대체할 수 있을 것으로 보인다.

오존은 높은 산화력으로 살균이나 소독, 유기물 분해와 같은 다양한 역할을 하고 공정 후 잔여물이 배출되지 않아 ‘그린 케미컬’로 불린다.

하지만 우리나라에서는 오존을 식음료 산업이나 소규모 수처리 산업에만 한정돼서 적용됐었다. 반도체 공정에서 사용하는 오존생성장치는 모두 수입해 사용했다.

연구팀이 개발한 오존생성장치는 100마이크로미터(μm)의 초미세 방전공극을 갖고 있는 구조로 고밀도 플라즈마 생성으로 산소 공급 시 15wt% 이상의 오존을 생성할 수 있다. 또한 방전상태에 따라 최적의 전기에너지를 공급하는 전력공급장치를 개발해 오존생성수율을 129g/1㎾h로 높였다.

손 박사는 “반도체나 평판디스플레이와 같은 전자부품산업의 제조공정을 오존으로 대체해서 보다 친환경적이고 저비용으로 전환하게 됐다”며, 또한 “이번 개발이 모두 수입해 사용하던 오존생성장치를 국산화하는 계기가 될 것”이라고 말했다.

또한 이번 연구는 기계연의 ‘그린에너지기기 양산화 기술지원센터 구축사업’의 지원으로 수행됐다.

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